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China
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sputtering targets
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vacuum packing
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10000 Piece per Year
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12K of ShiJi,Shijixingtian bldg,Yanda 1 road, Huizhou, Guangdong
TYR material supply all kinds of ceramic sputtering target ,
compound semiconductor target include Oxide sputtering target ,
Fluoride sputtering target , Boride sputtering target , Carbide
sputtering target , Nitride sputtering target , Sulfide
sputtering target , Selenide sputtering target , Silicide
sputtering target , Telluride sputtering target , Antimonide
sputtering target , Arsenide sputtering target ......
The available made method include hot pressing , HP, , hot/cold isostatic pressing , HIP, CIP, , and vacuum melting, vacuum sintering
Spec.: Diameter: **5.6mm , *4", max. Single piece Size:
Length: 1mm, if larger size than this, we can do it as tiles
joint by *5 degree or *0 degree.
Shape:Â discs, plate, rod, tube, sheet, Delta, Rotatable and
per drawing
TYR will base on each different material to select the best way to made it and sure the finish ceramic sputtering target to be best.
Oxide Ceramic sputtering target :
Aluminum Oxide ,
Al2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Antimony Oxide , Sb2O3    Â
Antimony:Tin Dioxide , Sb:SnO, ATOÂ Â Â Barium
Titanate , BaTiO3Â Â Â
Bismuth Oxide ,
Bi2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Cerium oxide , CeO2Â Â Â Â Â Â Â
Cerium fluoride ,
CeF3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Chromium Oxide ,CrO, Cr2O3Â Â Â Â
Copper Oxide ,
CuOÂ Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Dysprosium Oxide , Dy2O3Â Â Â
Erbium Oxide ,
Er2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Europium Oxide , Eu2O3
Gadolinium Oxide ,
Gd2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Hafnium Oxide, HfO2Â Â Â Â Â
Holmium Oxide ,
Ho2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Indium Tin Oxide, In2O*-SnO2,
ITOÂ Â Â Â Â Â
Indium Zinc Oxide, In2O*-ZnO, IZOÂ Â Indium Oxide ,
In2O3Â Â Â Â Â Â
Indium Gallium Zinc Oxide, IGZO ,
In2O3+Ga2O3+ZnOÂ Â Â Â Â Â Â
Iron Oxide , Fe2O3,
Fe3O4Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Lanthanum Aluminate , LaAl2O3,   Â
LSMO ,Â
La0.*7Sr0.*3MnO3Â Â Â Â Â Â
Lead Zirconate ,
PbZrO3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Lead Oxide, PbOÂ Â Â
Lead Titanate ,
PbTiO3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Lead Zirconate , PbZrO3Â Â Â Â Â Â
Lead Zirconate-Titanate, PZT , PbZrO3 +
PbTiO3Â Â Â
Lutetium Oxide , Lu2O3Â
Magnesium Oxide ,
MgOÂ Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Molybdenum Oxide , MoOÂ Â
Molybdenum Oxide ,
MoO3,          Â
Neodymium Oxide , Nd2O3,    Â
Nickel Oxide,
NiOÂ Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Niobium Pentoxide , Nb2O5, Nb2Ox Â
Neodymium Oxide ,
Nd2O3,          Â
Nickel Oxide, NiOÂ Â Â Â
Praseodymium Oxide ,
Pr6O*1,        Â
Samarium Oxide , Sm2O3Â Â Â Â Â
Scandium Oxide ,
Sc2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Silicon Monoxide , SiOÂ
Silicon Dioxide ,
SiO2Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Strontium Titanate , SrTiO3,    Â
Tantalum Pentoxide ,
Ta2O5,          Â
Terbium Oxide , Tb4O7Â Â Â
Thulium Oxide ,
Tm2O3Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Titanium Oxide , Ti2O3, Ti3O5
Titanium Monoxide ,
TiOÂ Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Titanium Dioxide , TiO2Â
Tungsten Oxide , WO3, WO2.9, WO3 doped Li2OÂ Â
Vanadium Pentoxide , V2O5,
VO2Â Â Â Â Â Â Â Yttrium Oxide ,
Y2O3Â Â
Ytterbium Oxide , Yb2O3Â Â Â Â Â Â
Zinc Oxide ,
ZnOÂ Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Zinc Aluminum Oxide, AZO , Al2O*-ZnO, ZnO-Al
Ga2O3 doped ZnO ,
GZOÂ Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â Â
Zirconium oxide , ZrO2Â Â Â Â Â
ZrO2 - Y2O3 stabilized ,
YSZ,         Â
ZrO2 + SiO2
Â
~Fluoride Ceramic sputtering target  Â
Aluminum Fluoride , AlF3 target    Â
Barium Fluoride , BaF2 target  Â
Cadmium Fluoride , CdF2
target     Â
Calcium Fluoride, CaF2 target    Â
Cerium Fluoride , CeF3 target  Â
Dysprosium Fluoride , DyF3 target
Erbium Fluoride , ErF3
target     Â
Lanthanum Fluoride, LaF3
target    Â
Lithium Fluoride , LiF targetÂ
Magnesium Fluoride, MgF2 target  Â
Neodymium Fluoride, NdF3 target   Â
Potassium Fluoride , KF,
target     Â
Praseodymium Fluoride , PrF3
target    Â
Lead Fluoride , PbF2 target  Â
Sodium Fluoride , NaF target   Â
Strontium Fluoride , SrF3 target   Â
Samarium Fluoride , SmF3 target
Cryolite Na3AlF6
target      Â
Ytterbium Fluoride , YbF3
target    Â
Yttrium Fluoride , YF3target
Boride Ceramic sputtering target  Â
Chromium Boride , Cr2B, CrB2, CrB, Cr5B3
target     Â
Hafnium Boride , HfB2
target     Â
Iron Boride , FeB target     Â
Lanthanum Boride , LaB6
target     Â
Molybdenum Boride , Mo2B, Mo2B5
target     Â
Neodymium Boride , NdB, NdB2
target     Â
Tantalum Boride , TaB, TaB2
target     Â
 Titanium Boride, TiB2
target     Â
Tungsten Boride , WB, WB2, W2B5
target     Â
Vanadium Boride , VB, VB2
target     Â
 Zirconium Boride , ZrB2 target Â
Carbide Ceramic sputtering target Â
Boron Carbide, B4C target   Â
Chromium Carbide , Cr3C2, CrC
target    Â
Hafnium Carbide, HfC target   Â
Molybdenum Carbide , Mo2C
target    Â
Niobium Nitride , NbC target   Â
Silicom Carbide , SiC target    Â
Tantalum Carbide , TaC target    Â
Titanium Carbide, TiC target   Â
Titanium Carbon Nitride , TiCN
target      Â
Tungsten Carbide , W2C, WC
target     Â
Tungsten Carbide Doped with Nickel , WC+Ni
target    Â
Tungsten Carbide Doped with Cobalt , WC+Co
target     Â
Vanadium Carbide , VC target   Â
Zirconium Carbide, ZrC targetÂ
Nitride Ceramic sputtering target Â
Aluminum Nitride , AlN target   Â
Boron Nitride, BN target  Â
Hafnium Nitride, HfN target    Â
Niobium Niride , NbN
target     Â
Silicom Nitride , Si3N4
target     Â
Tantalum Nitride , TaN
target     Â
 Titanium Carbon nitride , TiCN
target   Â
Titanium Nitride, TiN target    Â
Vanadium Nitride , VN target    Â
Zirconium Nitride , ZrN target
       Â
Sulfide Ceramic sputtering targetÂ
Cadmium Sulfide , CdS
target     Â
Copper Sulfide, CuS,Cu2S
target     Â
Indium Sulfide , In2S3
target     Â
Iron Sulfide, FeS, FeS2
target     Â
Lead Sulfide , PbS target     Â
Manganese Sulfide, MnS2
target     Â
Molybdenum Sulfide , MoS2
target     Â
Niobium Sulfide , NbS2
target     Â
Silver Sulfide , AgS. Ag2S
target     Â
Tantalum Suflfide , TaS2
target     Â
Tin Sulfide , SnS, SnS2
target     Â
Tungsten Sulfide , WS2
target     Â
Zinc Sulfide , ZnS target Â
Silicide Ceramic sputtering target Â
Chromium Silicide , CrSi2
target     Â
Cobalt Silicide , Co3Si
target     Â
Hafnium Silicide , HfSi2
target     Â
Molybdenum silicide, MoSi2, Mo5Si3
target     Â
Nickel Silicide , NiSi
target     Â
Niobium Silicide , Nb5Si3, NbSi2
target     Â
Tantalum Silicide , Ta5Si3, TaSi2
target     Â
Titanium silicide, Ti5Si3, TiSi2
target     Â
Tungsten Silicide , WSi2
target     Â
Vanadium silicide , V3Si, VSi2
target     Â
Zirconium Silicide , ZrSi2
target    Â
Â
Selenide Ceramic sputtering target Â
Aluminum Selenide , Al2Se3
target     Â
Antimony Selenide , Sb2Se3
target     Â
Arsenic Selenide , As2Se3
target     Â
Bismuth Selenide, Bi2Se3
target     Â
Cadmium Selenide , CdSe
target     Â
Copper Selenide, CuSe, Cu2Se
target     Â
Gallium Selenide, Ga2Se3
target     Â
Gernium Selenide, GeSeÂ
target     Â
Indium Selenide, In2Se3
target     Â
Lead Selenide, PbSe
target     Â
Molybdenum Selenide, MoSe2
target     Â
Manganese Selenide, MnSe
target     Â
Niobium Selenide , NbSe2
target     Â
Tantalum Selenide , TaSe2
target     Â
Tungsten Selenide , WSe2
target     Â
Zinc Selenide , ZnSe target Â
Antimonide sputtering targetÂ
Indium Antimonide , InSb target    Â
Gallium Antimonide , GaSb
target     Â
Nickel Antimonide , NiSb target Â
  Â
Arsenide sputtering target Â
Indium Arsenide , InAs
target     Â
Tin Arsenide , SnAs
target     Â
Gallium Arsenide , GaAs
target     Â
   Â
Telluride sputtering target Â
Arsenic Telluride , As2Te3
target    Â
Antimony Telluride, SbTe, Sb2Te3
target     Â
Bismuth Telluride , Bi2Te3, BiTe targetÂ
Bismuth Antimony Telluride , Bi-Sb-Te target
Cadmium Telluride, CdTe
target     Â
Copper Telluride , CuTe, Cu2Te
target    Â
Gallium Telluride , GaTe
target     Â
Geranium Telluride , GeTe
target    Â
Geranium Antimony Telluride , Ge-Sb-Te
target     Â
Lead Telluride , PbTe target Â
Tin Telluride, SnTe target
Molybdenum Telluride, MoTe2
target     Â
Niobium Telluride, NbTe2
target     Â
Silver Telluride, Ag2Te target    Â
Tantalum Telluride, TaTe2
target     Â
Tungsten Telluride , WTe2, sputtering
target     Â
Zinc Telluride , ZnTe target  Â
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